实现洁净室内多层第6代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运!
大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载:50KG
动作范围:1780mm
控制柜:DX100
用途:搬运、洁净室
适用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
高速、稳定搬运,提高生产效率。
高度柔性动作,大幅度削减配套设备费用。
长期保持高洁净度,降低运营成本。
大幅缩短生产线建立时间。
SEMISTAR-MR124
适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版,**业界的高性能!供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。
半导体晶片搬运用机器人
负载:-
动作范围:1215mm
控制柜:SR100
用途:搬运、半导体
大动作范围:EFEM模块移动距离可达4套应用设备,无需使用底架,极大地提高了搬运效率。
高速搬运:300枚/小时
适用:300mm-450mm晶片搬运